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        JW-RF150/JY-MF150型等離子清洗機

        設備型號

        JW-RF150

        JY-MF150

        整機規格

        420( W )mm*390mm( D )*300mm( H ),28KG

        腔體規格

        Φ150mm×250mm,高純度石英腔

        整機功率

        1500W

        控制系統

        8.8寸電阻觸摸屏+ JW2.0系統 ,手動/自動

        真空泵

        飛躍VRD-8 2L/Min

        等離子電源

        射頻電源
        13.56MHZ/0-150W(固定阻抗匹配+遠程控制調節)

        中頻電源
        40KHZ/0-500W

        放電結構

        內置極板或外置電感耦合

        內置極板

        氣路通道

        兩路氣體

         

        2)產品特點:
        JW-RF150型等離子清洗機等離子密度高活性強、不污染產品、低輻射(低於國家安全輻射範圍)、固定阻抗網絡簡潔高效。JY-MF150型等離子清洗機清洗能量強、腔室溫度高。兩種產品全自動化控制,設置參數精度高,處理時間可設定,工藝參數可預設保存重複性好,集成度高,一鍵啓停;體積小、適合實驗室使用;採用電磁屏蔽材料,保證設備人員安全;專業化的軟件系統控制、確保實驗數據準確可重複。

        3)應用範圍:
        JW-RF150型等離子清洗機主要是通過氮氣、氧氣或氬氣等各種工藝氣體被電離後的等離子體來去除材料表面的氧化層和污染物,同時也能對材料表面進行聚合改性、活化、去膠、刻蝕等作用。適合處理高精密及不耐高溫材料。JY-MF150型等離子清洗機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等各種工藝氣體電解後等離子體來去除材料表面的氧化層和污染物,增加材料表面的親水性及附着力適合一些耐高溫材料加工前的預處理.

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