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          SY-DT03S 低溫等離子體處理儀

          1)技術參數:

          整機規格 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H)
          腔體規格 260mm(W)×260mm(D)×260mm(H)
          腔體容積 17L
          電極規格 內置環形電極
          載物規格 共2層,單層180mm×210mm
          電源系統 RF射頻等離子發生源,全自動阻抗匹配;13.56MHz
          控制系統 觸摸屏+PLC自動控制
          真空系統 抽速:6L/S
          氣路系統 2路工作氣體、1路放空、1路接枝
          工作電壓 AC220V

          2)產品特點:
           RF射頻晶體管等離子發生源,全自動阻抗匹配。
           櫃式結構,真空泵內置,有效節約佔地面積。 
           萬向底輪設計,方便設備移動。
           高強度航空鋁合金腔體,耐腐蝕。  
           置物層數爲2層。 
           內置平板式電極,放電均勻。 
           真彩色全中文界面觸摸屏,畫面清晰,操作方便。 
           PLC自動控制,功能齊全,所有運行參數可自行設置並監控,主要功能包括:手動模式/自動模式任意切換、PID自動調節、自動操作、自動報警功能(如:相序異常、真空泵異常、真空泵過載、氣體報警、放空報警、電源無功率輸出報警、真空度過高報警、真空度過低報警等)、實時監控畫面、配方管理及密碼管理功能。 

          3)應用範圍:
          低溫等離子體處理儀適用於實驗各種材料的表面改性處理,包括:清洗、活化、刻蝕、沉積、接枝與聚合等。
          總部:
          業務負責人:沈經理
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          華北地區:
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